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基板外形のLサイズは、510mm x 460mmまでを指します。製品の小型化が求められるなかで、Lサイズ基板の需要が減っているかといえばそんなことはなく、大型基板は半導体検査装置や通信インフラ機器、航空宇宙、電装装置などにその用途、需要が広がっています。
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